متوافق مع رقائق بقياس 7.2 مم - 82 مم 
مسافة عمل عالية/منخفضة 
عدسة متحدة المركز ذات فتحة عدسة 
عدسة قياس 
أقصى دعم للرقائق بحجم 1.1 بوصة 
أقصى دعم للرقائق مقاس 1.2 بوصة 
أقصى دعم لرقائق 2/3 بوصة 
مسافة عمل طويلة 
عدسة متغيرة البؤرة بتركيب CS 
عدسة لوحية متغيرة البؤرة 
عدسة S mount 
إضاءة دائرية 
ضوء الأشعة فوق البنفسجية/الأشعة تحت الحمراء 
شريط إضاءة 
ضوء مقوس عالي التوحيد 
إضاءة خلفية 
مصباح مسطح 
محاذاة الضوء 
ضوء محوري 
ضوء كاشف 
ضوء القبة 
ضوء محوري متوازي 
ضوء مربع بدون ظلال 
ضوء المسح 
ضوء AOI 
وحدة تحكم تناظرية 
نوع الدليل الخطي ذو البكرات المتقاطعة 
سلسلة منصات الدوران XRS 
مراحل نقل خطية بمحامل كروية من الفولاذ المقاوم للصدأ 
مراحل نقل متعددة المحاور 
مراحل محامل كروية من قضبان فولاذية 
مرحلة تحديد المواقع من نوع التعشيق المسنن والترس 
منزلق لولبي عالي الدقة ذو أخدود متداخل - عدسة متحدة المركز
- عدسة كاميرا المراقبة
- مصدر إضاءة صناعي
- مراحل وشرائح يدوية
- نوع الدليل الخطي ذو البكرات المتقاطعة
- المراحل الدوارة: سلسلة XRS
- مراحل دوارة عالية الدقة: سلسلة XRSP
- مراحل نقل خطية بمحامل كروية من الفولاذ المقاوم للصدأ: سلسلة XLB
- مراحل نقل متعددة المحاور
- مراحل محامل كروية من قضبان فولاذية: سلسلة XLG
- مرحلة تحديد المواقع من نوع التعشيق المسنن والترس
- منزلق لولبي عالي الدقة ذو أخدود متداخل
تصميم عدسة مركزية 67.6 مم
تغطية مجال صورة كبيرة للغاية، مناسبة تمامًا لشريحة قطرها 67.6 مم، لقطة واحدة مقابل وصل العدسات المتعددة.
تكوين WD متعدد الدرجات 48-370 مم، متوافق مع المساحات الضيقة وسيناريوهات الفحص عن بعد.
سيناريو التطبيق
مجال طاقة جديد: الكشف عن الشقوق الخفية في رقائق السيليكون الكهروضوئية، وفحص عيوب طلاء رقائق بطاريات الليثيوم.
تصنيع الألواح: تحليل تجانس طبقة انبعاث الضوء في شاشات OLED، وتحديد موقع الخدوش على الركيزة الزجاجية.
فحص جودة الطباعة: طباعة العبوات ذات التنسيق الكبير جدًا، والكشف عن اختلاف اللون/التسرب
المواد المركبة: اكتشاف عيوب نسيج ألياف الكربون
أهداف الكشف
تحديد الخدوش السطحية (العرض ≥10 ميكرومتر)، والتشقق، والشقوق الدقيقة (الطول ≥50 ميكرومتر).
تصميم مضاد للتداخل الانعكاسي
يقلل الهيكل المزدوج ذو المركزين من الضوء المتناثر، مع مرشحات استقطابية لقمع الانعكاس المرآوي على الأسطح الزجاجية.
يعمل مصدر الضوء ذو الزاوية المنخفضة على تحسين تباين الظلال الناتجة عن الخدوش بمقدار 3 أضعاف.
| طراز العدسة | مجلة | دبليو دي | عمق المجال (مم) | التمركز عن بعد | التشوه البصري | فتحة العدسة F/# | Mtf>0.3 (lp/mm) | جبل | IMX411 (53.42*40)MM | مسح خطي 16 ألف 57.4 مم |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| DTTL48-2X67 | 2.0X | 48 | 0.3 | 15 | 54 | M72 | 26.7*20 | 22.9 | ||
| DTTL100-1.6X67 | 1.6X | 100 | 0.7 | 23 | 36 | M72 | 33.4*25 | 25.2 | ||
| DTTL96-1.4X67 | 1.47X | 96 | 0.7 | 17 | 48 | M72 | 36.3*27 | 32.2 | ||
| DTTL105-1.35X67 | 1.35X | 105 | 0.8 | 18 | 50 | M72 | 39.6*29.6 | 35 | ||
| DTTL90-1.1X67 | 1.1X | 90 | 0.9 | 13 | 56 | M72 | 48.6*36.4 | 39.2 | ||
| DTTL145-09X67 | 0.9X | 145 | 1.8 | 18 | 50 | M72 | 59.4*44.4 | 41 | ||
| DTTL160-0845X67 | 0.845 | 160 | 2.2 | 19 | 40 | M72 | 63.2*47.3 | 44.8 | ||
| DTTL130-072X67 | 0.72X | 130 | 2.5 | 16 | 58 | M72 | 74.2*55.6 | 49 | ||
| DTTL180-062X67 | 0.62X | 180 | 3.0 | 14 | 60 | M72 | 86.2*64.5 | 57.3 | ||
| DTTL210-0497X67 | 0.497X | 210 | 4.4 | 13 | 62 | M72 | 107.5*80.5 | 59.1 | ||
| DTTL300-045X67 | 0.45X | 300 | 7.1 | 17 | 48 | M72 | 118.7*88.9 | 65.9 | ||
| DTTL295-0356X67 | 0.356X | 295 | 5.8 | 9 | 90 | M72 | 150.1*112.4 | 76.5 | ||
| DTTL305-0313X67 | 0.313X | 305 | 10.1 | 12 | 64 | M72 | 170.7*127.8 | 95.6 | ||
| DTTL370-0282X67 | 0.282X | 370 | 10.5 | 10 | 70 | M72 | 189.4*141.8 | 108.2 |